Ultraheli pihustamise viis peamist eelist
1. Katte kõrge ühtlus
Ultraheli düüsi abil pihustatud vedelate osakeste jaotuse ühtlus on oluliselt kõrgem kui kahe vedelikuga düüsil, mida tavaliselt tuntakse õhupihustuspüstolina, nii et pärast ultrahelipihusti pihustamist on katte ühtlus paranenud . Tavaolukorras võib ultrahelipihustamise katte ühtlus ulatuda üle 95%.
2. Kõrge tooraine kasutamise määr, vähem pritsmeid
Kuna ultrahelipihustamine on vedeliku pihustamine ultraheli võnkumise abil, ei vaja kattega pihustamise protsess gaasi, see tähendab, et pihustusprotsess ei vaja survet ja pärast pihustamist rakendatakse vedeliku udu transportimiseks ainult väga madalat kandegaasi rõhku. See vähendab oluliselt vedeliku tagasilööki ja pritsmeid, mis on põhjustatud kõrgsurveõhku pihustades kahest vedelikust, parandades seeläbi katte kasutusastet. Ultraheli pihustamise toormaterjali kasutamise määr on üle 4 korra suurem tavalise õhupihustamise omast ja kasutuse määr võib ulatuda üle 90%.
3. Katte paksuse kontrolli kõrge täpsus
Peamine kattekihi täpsust mõjutav tegur on katte pihustatav voolukiirus, mis on substraadile ajaühikus koormatud materjali kogus. Ultraheliotsikul ei ole vedeliku rõhu mõju, nii et pihustatud kattevedeliku voolukiirust saab ülitäpse doseerimispumba abil täielikult reguleerida, realiseerides seeläbi ülitäpse pihustusvoolu juhtimise. Näiteks on ülitäpse süstla pumba voolu juhtimise täpsus kuni pikoliitrit sekundis ja ultrahelidüüsi mikrokanali konstruktsioon võib saavutada ka nanoliitrite sekundis üldise juhtimistäpsuse.
4. Katte paksus on õhuke, kuni kümneid nanomeetreid
Kuna ultrahelidüüsi pihustusmaht võib saavutada väga madala stabiilse voolukiiruse (0,001 ml / min), võib see saavutada substraadile väga väikese koormuse, realiseerides seeläbi väga õhukese kuiva kile. Mõne nanomaterjali puhul võib kuiva kile paksus olla kuni kümneid nanomeetreid. Seda saab kasutada selliste klaasikilede valmistamiseks nagu läbipaistev juhtiv kile, peegeldumisvastane ja peegeldumisvastane kile, soojusisolatsioonikile, hüdrofiilne ja hüdrofoobne kile.
5. Düüs pole ummistunud ja hoolduskulud on madalad
Kuna ultrahelidüüs saavutab vedeliku pihustamise ultraheli võnkumise abil ja pihustatud osakesed määratakse ultraheli võnkesageduse järgi, erineb see kahevedelikust düüsist. Peenete pihustatud osakeste saamiseks ei pea düüsi läbimõõt olema väike, mistõttu see vähendab düüside ummistumise ohtu.