Ultrahelipihustamine võtab kasutusele ultraheli atomistamise tehnoloogia pihustamise meetodi, mis erineb põhimõtteliselt traditsioonilisest ühe-fluidsest või kahe fluidsest pihustamisest. Ultraheli pihustamine võtab kasutusele pihustamisseade, mille kasutuseefekt on erinev. Millised on eelised?
1. kõrge katte ühtlus
Vedeliku osakeste jaotuse ühtlus pärast ultraheli düüsi abil on märkimisväärselt kõrgem kui kahe fluidse düüsi oma, mida tavaliselt nimetatakse õhupihustuspüstolina, seega on katte ühtlus pärast ultraheli düüsi pihustamist märkimisväärselt paranenud. Tavaliselt võib ultraheli pihustamise katte ühtlus ulatuda üle 95%.
2.
Kuna ultraheli pihustamine on vedela pihustamine ultraheli võnkumise teel, ei vaja kattematerjali aatomiseerimine gaasi, see tähendab, et pihustamisprotsess ei vaja rõhku ja pärast vedeliku udu transportimiseks on vaja ainult väga madalat kandega gaasirõhku, mis on põhjustatud vedela udu ja seega, seetõttu on see, et see on suurenenud. Ultraheli pihustamise tooraine kasutamise määr on tavalise õhu pihustamise üle 4 korda suurem ja kasutusaste võib ulatuda enam kui 90%-ni.
3. katte paksuse tõrje kõrge täpsus
Peamine tegur, mis mõjutab katte paksuse täpsust, on katte pihustusvool, see tähendab substraadile laaditud materjali kogus aja kohta. Ultraheli düüsil ei ole vedelikule mingit rõhumõju, seetõttu saab pihustatud värvi vedeliku voolukiirust täielikult juhtida ülitäpse mõõtmispumba abil, mõistes seega ülitäpset pihustamisvoolu juhtimist. Näiteks ülitäpne süstlapump, selle voolujuhtimise täpsus võib jõuda pikoliterite tasemele sekundis ja ultraheli düüsi mikrokanalite kujundus võib saavutada ka nanoliite üldise kontrolli täpsuse sekundis.
4. katte paksus on õhuke, mis võib jõuda kümnete nanomeetriteni
Kuna ultraheli pihusti pihustusmaht võib saavutada väga madala ja stabiilse voolukiiruse (0,001 ml/min), võib see substraadil saavutada väga väikese koormuse, saavutades sellega väga õhukese kuiva kile. Mõne nanomaterjali puhul võib kuiv kile paksus olla sama madal kui kümneid nanomeetreid. Seda saab kasutada klaasist kilede, näiteks läbipaistvate juhtivate kilede, antireflektsiooni- ja antireflektsioonifilmide, soojusisolatsioonifilmide, hüdrofiilsete ja hüdrofoobsete kilede jms valmistamiseks jne.
5. Pöidlade ummistus ja madalad hoolduskulud
Kuna ultraheli otsik realiseerib vedeliku pihustamise ultraheli võnkumise kaudu ja pihustatud osakesed määratakse ultraheli võnkesagedusega, seega erineb see kahe fluidse düübist. Düüsi ummistumise oht.
